用超纯密封改善半导体行业
发布于2018/10/26 | Cliff |海豹
的半导体行业是一个特殊的市场，要求密封件在极端的化学和温度环境下工作。
半导体工业中的密封件必须阻止密封材料进入流体流。
密封件有几种不同的方式来完成这一任务，但首先要考虑的是操作特性。
半导体工业密封件的工作特性
对于不存在相对运动的静态密封，使用全氟弹性体或FFKM橡胶被认为是首要考虑因素。
华体会最新地址Eclipse是Dupont™Kalrez®的指定分销商。Kalrez零件具有优异的化学和热稳定性，并经过特殊配方和加工，以满足晶圆加工环境的独特要求。
杜邦提供模具o型环并为半导体行业定制使用的一系列特种密封件和超纯加工产品。
超纯加工是所有产品的标准半导体Kalrez 6375UP和7075UP必须指定产品等级。
Kalrez是一家被广泛接受的超纯化合物供应商半导体行业并且可以由Eclipse提供。华体会最新地址
聚四氟乙烯在半导体密封中的作用
对于考虑在相同操作条件下的磨损和摩擦的动态密封应用，Eclipse设计和制造了由以下材料制成的弹簧和橡胶动力密封华体会最新地址聚四氟乙烯聚四氟乙烯，(特氟龙®)或超高分子量聚乙烯。
这些密封通常是加工的横截面，并由金属弹簧或橡胶弹性体供电。
聚四氟乙烯基本上对几乎任何化学物质都是惰性的，金属弹簧可以从设备的其他领域使用的公认金属中选择-通常是300系列弹簧钢。
如果密封件是橡胶通电的，则可以使用全氟弹性体，如Kalrez，因为其具有优异的化学和温度兼容性。
使用这些聚合物可以在不磨损配合表面的情况下进行动态运动。这些聚合物可以抵抗流体流中的污染，同时将摩擦保持在最低限度，并在不同的温度下工作，以满足应用要求。
动态密封可以在往复、振荡和旋转运动中工作。由于与弹性密封件相比，这些聚合物具有相对的摩擦系数，可以极大地减少由动态运动引起的热量进入系统。
这些材料不仅限于圆形。它们几乎可以加工成任何配置文件以适应应用程序。
半导体密封的特殊设计元素
当压力超过这些标准聚合物的机械强度时，Eclipse可以构建备用环组合，以应对超过100K PSI的压力。华体会最新地址
当压力变为负压或真空时，Eclipse能够构建能够密封到极真空的密封系统，并华体会最新地址继续发挥动态密封的作用。
这是通过我们对聚合物的超级抛光工艺完成的，结合应用硬件和针对动态应用的匹配表面的抛光。
对于电子外壳的边界密封，Eclipse可以设计密封或保护装置，将外部环境拒之门外，并防止流体华体会最新地址从电子设备中流出。
华体会最新地址Eclipse设计了两种聚合物外壳密封，可在严重的手套箱或电子外壳中操作，以确保外壳内的产品停留在那里，外部环境停留在外。
当使用最苛刻的化学物质进行设计，并在-400华氏度至超过500华氏度的温度下工作时，使用聚四氟乙烯(PTFE)等聚合物和FFKM (Kalrez)等弹性体材料可以提供长期解决方案，使您的生产设备保持正常运行，并将PM周期降至最低。这减少了整体停机时间，改善了运行时间，使您的操作更有利可图。
华体会最新地址Eclipse在密封领域已经有20多年的历史，为世界各地的密封解决方案提供在地球上、地球上和地球外使用的密封解决方案，在半导体行业等最恶劣的环境中工作。
